Source optimization for magnetron sputter-deposition of NbTiN tuning elements for SIS THz detectors

N.N. Iosad*, B.D. Jackson, F. Ferro, J.R. Gao, S.N. Polyakov, P.N. Dmitriev, T.M Klapwijk

*Corresponding author voor dit werk

OnderzoeksoutputAcademicpeer review

18 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Source optimization for magnetron sputter-deposition of NbTiN tuning elements for SIS THz detectors'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Keyphrases

Material Science